소개
이 책의 구성 및 특징 박막증착 공정의 기반이 되는 기초 과학부터 시작하여, 주요 증착 기술, 그리고 최종 박막의 특성 평가에 이르기까지 일련의 과정을 따라가도록 진공, 증발, 방전과 플라즈마, 물리증착, 화학증착, 박막성장기구, 박막공정기술, 에피탁시, 미세조직 및 특성평가 등으로 구성하였고, 한 학기 강의가 가능하도록 범위를 조절하였다. 마지막으로 기초 원리를 깊이 있게 파헤쳐 독자들이 스스로 공정 문제를 분석하고 해결할 수 있는 능력을 키울 수 있도록 각 장 말미에 간단한 연습문제와 교재의 후반부에 해설을 포함하였다.